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技术资料
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| 管式炉特点 | 双层风冷壳体结构； 采用真空成型工艺制作的耐火保温材料，热损耗小，有效地降低了设备的使用功率； 氧化铝管塞可帮助您在管内建立完美的温度梯度； 触摸屏操作，直观显示温度曲线； 具有全程非线性温度修正； 具有预约启动功能，节约烧结时间； |
| 加热元件 | 硅碳棒 ( 12根) |
| 最高工作温度 | 1500℃（<2h） 1450℃（长期工作温度） |
| 升降温速率 | ≤10℃/min |
| 加热区长度 | 480mm（240+240） |
| 温控系统 | 采用7寸真彩触屏输入、精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR 可预存15条30段升降温曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 嵌入式操作系统中英文互换图形界面，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷； 非线性式样温度修正； 带有超温及断偶保护 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 炉管材质和尺寸 | 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管 外径: 60 mm：内径: 50mm x1200 mm L（标配） 外径: 80 mm：内径: 70mm x1200 mm L（选配） |
| 密封法兰 | 一套不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表和密封阀门 漏率达5X10-9 Pam3/s |
| 输入电源 | AC 220V, 单相, 50/60Hz, 功率：5.5KW |
| 真空系统和配件 | 机械泵：抽气速率4L/S 分子泵：抽气速率100L/S 极限压强：6X10-6Pa 额定转速：43000转/分 冷却方式：风冷/水冷 分子泵控制电源：220V 输出频率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% 电离规管测量范围：100~10-5Pa 电阻规管测量范围：105～10-1 pa 连接管件：高真空手动隔断阀 采用氟胶圈密封快卸法兰接口漏率：达5X10-9 Pam3/s 全不锈钢电抛光制作零件焊接漏率优于1×10-9Pa.m3/s |
| 气体流量计 | 压差范围：0.05-0.4MPa 精度：±1% FS 重复精度：±0.2% FS 流量范围：50、100、200、500、1000Sccm可供客户选择 流量计类型：进口质量流量器 接口尺寸：Φ6.35mm双卡套接头 连接管道：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选） 气体转换系数：系统可按要求自动转换不同气体密度，显示正确流量。 |
| 外形尺寸 | 炉体尺寸：600*720 *520mm 混气系统：700*700*650mm 真空机组：700*700*650mm |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件 |
1200C单温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-TSZG
1200℃双温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T2SZG
1200C单温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-TZG
1200C双温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T2ZG
1200℃三温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T3ZG
1200°C五温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T5ZG
1500℃单温区多通道高真空组合式CVD系统 TP-1500-TZG
1500C三温区多通道高真空组合 式CVD系统TP-1500-T3ZG
1700℃单温区多通道高真空组合 式CVD系统TP-1700-TZG
1700℃双温区多通道高真空组合 式CVD系统TP-1700-T2ZG
1700℃三温区多通道高真空组合 式CVD系统TP-1700-T3ZG
