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液体气相发生器

技术资料

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液体气相发生器加热内胆及注液腔体均采用一次性成型技术,无接口无焊缝,底面呈圆弧状,无死角易清洗,延长了设备的使用寿命,加热内胆及注液腔体均采用进口304不锈钢材质,表面经过再处理,具有抗腐蚀,难生锈的特点,控制系统采用凹凸面框保护,防止仪器加热过程中沸液溢出,损毁温控表,操控面板具有倾斜角度,增加了操作者的舒适感,双排蓝色LED显示屏,让数字显示更清晰柔和。


   液体气相发生器是一款广泛适用于实验室中CVD或DLCVD实验的导入液体的一款经济高效的液体蒸发输送系统。其液体流量是通过一个数字液体泵来控制,******流量为10ml/min.


   液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸汽,然后随导入的气体带入到反应腔中。


   本设备能够导出多种液体,比如ETOH、SnCl₄、TiCl4、SiHCl3和In(C2H5)2,还有多种有机混合物。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜,是一款理想的设备。


设备参数:

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