离子溅射仪

设备简介：

    PLJ13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计，结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射，可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

设备特点：

   1、采用4C静音真空泵，各方面降噪，提升实验感受；

   2、标配样品室真空表和溅射电流表，实时显示和监控仪器状态；

   3、边缘橡胶密封圈，长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象。

   4、配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路，轻松控制真空室压强、电离电流，并可任意选择所需电离气体，以获得很好的镀膜效果；

   5、标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶，溅射范围更大；

溅射速度：

    一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100-300Å,采用经验法测定厚度，可由下面的公式得到d = KIVT‘其中： d：是镀膜厚度(单位Å)，K：是常数，取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时K为0.17，金靶和空气K为0.07)，此时靶与样品之间的距离I： 是等离子流(单位mA)

V：是所施电压(单位kv)，T”是时间(单位s)。

    例如采用金靶和氩气，l为8mA,T为100秒，V为1KV，则, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136Å

即每秒1.36Å，溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度，因此保护工作室的清洁十分重要。

    其它金属靶的溅射速度，例如铂靶大约是金靶一半的速度，金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。

注意事项：

      1、靶材的更换

先拔下溅射盖板上高压和地线插头，拿下溅射盖板，松开三只顶丝，拿下保护板，然后拧下压环就可以更换新靶。

    2、真空工作室清洗

腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗，以保证系统能正常工作。

    3、针阀使用

针阀关闭后再反向拧两圈，以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气，请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。