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PR-ZP系列多通道质量流量供气系统
PR-ZP系列是一款低成本的流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜可以与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7″的LCD触摸屏上，便于操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验.
技术资料
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设备特点：
适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管
气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便
采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作
所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸
产品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 |
工作温度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
压差范围 | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa |
精度 | ±1% FS | ±1% FS | ±1% FS |
重复精度 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS |
流量范围 | 50、100、200、500Sccm可供客户选择 | ||
流量计类型 | 进口质量流量器 | ||
接口尺寸 | Φ6.35mm双卡套接头 | ||
连接管道 | 采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选） | ||
外形尺寸 | 700*700*645mm | ||
净重 | 约35KG | ||
