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PR-2ZP-O2 Analyzer 氧分压监测供气系统
PR-2ZP-O2 Analyzer供气系统是一款低成本高精度的流量计控制系统同时具备在线氧分析功能，其质量流量计和氧分析仪都安装在一个移动柜里，移动柜可与我司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7″的LCD触摸屏上，便于操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验.
技术资料
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| 特点 | 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管 具备在线氧分析监测功能 含氧量和气体流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便 采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸 |
通道 | 二通道 |
工作温度 | 5-45℃ |
压差范围 | 0.05-0.4MPa |
精度 | ±1% FS |
重复精度 | ±0.2% FS |
流量范围 | 50、100、200、500Sccm可供客户选择 |
流量计类型 | 进口品牌质量流量器 |
接口尺寸 | Φ6.35mm双卡套接头 |
连接管道 | 采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选） |
氧分析仪 | 测量原理：双氧化锆 显示方式：320×240点阵彩色LCD 测量范围：0~10/100/1000PPm/1.00%/25.00% O2 测量精度：0~1000PPm/1.00%/25.00%≤±1%FS 0~100PPm≤±2%FS 0~10PPm≤±5%FS 分 辨 率：0.1PPm（微量） 0.01%（常量） 重 复 性：≤±1.0%FS 响应时间：T90≤30S 输出接口：4-20mA.DC（非隔离输出，负载电阻＜1KΩ） 0-10V.DC（非隔离输出，负载电阻＞10KΩ） 1路可编程干触点型无源报警输出，触点******容量AC220V/2A 2路仪表状态信号输出 通讯方式：RS232（默认）或RS485 工作电源：AC85~264V 50/60Hz，功耗＜25VA 环境温度：-10℃~+50℃ 储存环境湿度：＜90%RH，非冷凝 工作环境湿度：＜100%RH，非冷凝 样气温度：0℃~60℃ 采样方式：抽气式 样气流量：400~600mL/min 进气压力：-10kPa≤相对压力≤5kPa（＜5kPa时，订货时需说明具体负压值） 排气压力：自由排空（安全条件下） 背景气体：N2或其他惰性气体 传感器寿命：＞5年（正常使用条件下） 气路接口：NPT 1/8内螺纹 |
外形尺寸 | 700*700*645mm |
净重 | 约46KG |
