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200W 等离子射频模块PE-200W
该射频电源匹配器小巧、轻便，拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品使用寿命均得以提升，从而使您的投资和制程生产力得到有效的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128* 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本很低。此款设备配置13.56MHz的射频输出，可匹配普通型管式炉做等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）使用，是实验室做PECVD镀膜的理想选择。
技术资料
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设备特点 | 此设备功率可以预设设置，实现一键启动,自动匹配。 实际功率相对于设定值不会过冲，而且匹配后功率稳定 |
基本参数 | 输入电压：AC220V，50/60Hz 输出功率：2W~200W ，连续可调，稳定性：± 1% 反射功率：70W 匹配：自动匹配，空气电容 直流电源工作气压范围：0~100Pa 冷却: 强制空气冷却 线圈直接：Φ110*180 |
尺寸 | 570mm *570mm *540mm |
保护功能 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
重量 | 13Kg |
质保期 | 一年质保期，终身维护 |
