1200℃ 三温区PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS3-Z4D-PE

加热参数

▪ 最高工作温度:1200℃（<30min）

▪ 连续使用温度:≤1150℃；

▪ 控温精度：±1℃；

▪ 加热区尺寸:200+200+200mm

▪ 炉管尺寸：Φ80*1400mm

▪ PID触屏温度控制器及30段可编程温控系统，带有超温和断偶保护；

▪ 输入电源： 380V  6.5 KW；

▪ 内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。

▪ 注意：炉管为损耗材料。

射频电源

输出功率：0-500W可调（稳定性：±1%）

射频频率：13.56 MHz（稳定性：±0.5%）

匹配模式：自动匹配

噪音：＜50dB

冷却方式：风冷

▪ 我公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

真空系统

▪ 采用双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10^-1Pa。

供气系统

▪ 四通道进口品牌质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

通道1：0~100 sccm

通道2：0~200 sccm

通道3：0~500 sccm

通道4：0-500 sccm

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ 集成式PLC触摸屏可以统一简便地进行气体流量设置，及气体种类的切换。

控制系统

. 可预存20条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；

2.嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷；

3.非线性式样温度修正；具有预约启动功能（选配功能）。

无纸记录

系统实时记录试验数据,可U盘导出数据

安全保护

具有超温报警、断偶提示、通讯中断、漏电保护等功能并实时记录。

认证

CE

1870*800*1270mm

质保

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）